ASML Foundation is een onafhankelijke stichting, opgericht in december 2001 en in Nederland geregistreerd. Het doel van de ASML Foundation is het ondersteunen van wereldwijde initiatieven, in die landen waar ASML actief is, op het gebied van (technisch) onderwijs, als ook andere activiteiten die de kwaliteit van kinderen en achtergestelden verbetert.